アニールによる微細構造の変形の予備実験は失敗に終わった。どういう訳か、全く変形していなかった。そこで、中村さんと相談し、処理の仕方についてこれから検討してもらうことにした。まずは、アニール前の処理として、RCA洗浄をやってみることにした。
それと、今にして思えば、変形しなかったのは、HFによる酸化膜除去が不十分だったせいかもしれない。通常、撥水したら酸化膜が除去されたと判断するわけだが、表面に微細パターンがあると、酸化膜で覆われていても撥水するだろうから、撥水を確認したところで酸化膜が除去されたかどうかは判断できないだろう。