トレンチの変形シミュレーション

UHVアニールによる変形のSEM観察結果と比較するために、マリンズの理論を使ったトレンチの変形シミュレーションを開始する。このプログラムを作ったのは4〜5年前の事で、このプログラムがまだ研究に使えるのは嬉しい。