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トレンチ表面のSTM評価

トレンチ変形過程におけるステップ構造変化をSTMで調べていたが、0.8ミクロンパターンで何とか系統的にデータがとれた。ただ、0.8ミクロンパターンでは、構造が大きすぎて、STMで評価するには、ちょっと苦しいものがあった。次回は、0.5〜0.6ミクロンパターンあたりでデータをとってみることにする。